半导体设备零部件概念上市公司中北方华创是唯一一家位于“千亿俱乐部”；盛美上海、中瓷电子、富创精密、江丰电子、万业企业等9家位于“百亿俱乐部”；富乐德、旭光电子、国力股份、腾景科技等4家位于50-100亿元之间；华亚智能位于10-50亿元之间；
半导体设备零部件概念，北方华创获主力资金净流入620.12万元居首。
截至沪深股市收盘，沪指下跌0.45% ，收报3123.07点；深证成指下跌1.14% ，收报10255.87点；创业板指下跌1.14% ，收报2027.73点。
收盘，半导体设备零部件概念走弱（-1.941% ）
截至今日15:00该板块表现较差的前3名个股为：富乐德（301297）跌幅6.21% ， 成交金额11.98亿元，换手57.47% ；腾景科技（688195）跌幅5.5% ， 成交金额3.8亿元，换手11.23% ；旭光电子（600353）跌幅5% ， 成交金额3.18亿元，换手4.82% 。
尾盘，半导体设备零部件概念走弱（-2.620% ）
截至今日14:20该板块表现较差的前3名个股为：富乐德（301297）跌幅8.47% ， 成交金额10.21亿元，换手49.06% ；旭光电子（600353）跌幅6.51% ， 成交金额2.71亿元，换手4.11% ；腾景科技（688195）跌幅5.27% ， 成交金额3.1亿元，换手9.12% 。
午后，半导体设备零部件概念走弱（-2.824% ）
截至今日13:10该板块表现较差的前3名个股为：富乐德（301297）跌幅7.31% ， 成交金额8.8亿元，换手42.29% ；旭光电子（600353）跌幅6.98% ， 成交金额2.19亿元，换手3.31% ；腾景科技（688195）跌幅4.87% ， 成交金额2.74亿元，换手8.06% 。
