精测电子：2019年12月，控股子公司上海精测半导体技术有限公司已完成股权变更，获国家集成电路产业投资基金股份有限公司大比例投资入股，注册资本由1亿元大比例增加到6.5亿元。其中国家集成电路产业投资基金股份有限公司在精测半导体中持股15.38% ，位列第二大股东；公司持股46.15% ，仍为精测半导体控股股东。公司2020年9月18日公告，公司控股子公司上海精测半导体技术有限公司(“上海精测”)拟引入新投资者。上海精测于2020年9月18日与新增投资者武汉科颐企业管理咨询合伙企业(有限合伙)(“武汉科颐”)、彭骞以及上海精测现有股东国家集成电路产业投资基金股份有限公司、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙)、上海青浦投资有限公司、上海精圆管理咨询合伙企业(有限合伙)、马骏、刘瑞林、公司签订《增资扩股协议》。武汉科颐拟向上海精测投资9000万元人民币、彭骞拟向上海精测投资3000万元人民币，共计1.2亿元人民币(其中1亿元计入注册资本，2000万元计入资本公积金)取得上海精测合计13.33% 的股权。公司及上海精测其他股东放弃此次对上海精测增资的同比例优先认购权。此次增资完成后，公司持有(含间接持股)上海精测的股权比例由53.84% 变更为46.67% ，上海精测仍为公司合并报表范围内公司。
雷赛智能：公司为光伏装备、锂电装备和半导体装备行业提供运动控制核心部件及行业解决方案。
北方华创：主营半导体装备、真空装备、电子元器件等，其半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，2021年半导体设备营收71.2亿元，同比增长71% ，稳居中国大陆榜首。
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